Laboratório Multiusuário

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Lista de equipamentos


Microscópio eletrônico de varredura (MEV) - JEOL JSM-7800F

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Microscópio óptico - Nikon Eclipse LV100ND

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Corrosão por íons reativos (RIE) – Plasma Pro NGP80 – Oxford Instruments - Fapesp 2012/50259-8

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Microscópio de Força Atômica (AFM) - Dimension Icon - Bruker

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Evaporadora induzida por feixe de elétrons (E-beam evaporation) - Fapesp 2012/50259-8

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Deposição de Camadas Atômicas - ALD (Atomic Layer Deposition) 410L - Fapesp 2012/50259-8

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Chapa de aquecimento TE-038/2-MP

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Deposição por Cobertura (Spin Coater) – Best Tools

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Sistema de litografia a laser (Micro Writer ML3) (prototipagem Direta)

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Microscópio para polarização - Eclipse LV100ND POL/DS (Sala amarela)

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Capela em polipropileno para limpeza de amostras

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Tratamento de superfície por plasma (ZEPTO VERSION 2)

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Sistema de Litografia a Laser (Micro Writer ML3 PRO)

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Sistema de Evaporação Térmica - Univex 250 Leybold

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