Equipamento para deposição de camadas atômicas (Atomic Layer Deposition)

Descrição

Este equipamento multi-usuário (EMU) está localizado na Sala Limpa do MackGraphe, no 2º subsolo do prédio sede. Ele está associado ao Projeto SPEC 2012/50259-8 concedido pela FAPESP.

O EMU consiste em um sistema de deposição de filmes finos de espessura atômica (modelo GEMStar XT-S) fabricado pela empresa Arradiance. Com ele será possível depositar camadas de materiais dielétricos com espessura da ordem de alguns nanômetros em diversos substratos, entre eles silício e óxido de silício com diâmetro de até 200 nm e em materiais bidimensionais.

Comitê gestor

O Comitê gestor está inicialmente composto pelas Profª. Lúcia Akemi Miyazato Saito, e Profª. Cecília de Carvalho Castro e Silva, ligadas ao MackGraphe. Eventuais alterações no comitê serão informadas à FAPESP e divulgadas na página da internet do MackGraphe. O comitê gestor definirá e revisará periodicamente as regras e procedimentos para utilização do instrumento do projeto EMU. Além do gerenciamento do uso do equipamento, o comitê gestor será responsável pela alocação de tempo necessário à manutenção preventiva do equipamento e tempo dedicado à calibração e manutenção da qualidade dos dados.

Uso do equipamento

A utilização do equipamento deverá ser solicitada pelos interessados através do envio de propostas de trabalho. As propostas serão avaliadas pelo comitê gestor quanto à sua viabilidade e segurança, e uma entrevista com o proponente poderá ser agendada, para que este preste esclarecimentos. O comitê decidirá sobre o uso do equipamento e a realização das medidas de acordo com a viabilidade, segurança e disponibilidade de tempo do equipamento.

Elaboração de propostas

As propostas de trabalho devem ser enviadas em no máximo três folhas redigidas em papel A4 contendo as seguintes informações:

  1. Nome, email e telefone de contato das pessoas interessas/envolvidas no uso do equipamento e na realização das medidas;
  2. Objetivos e estado da arte do projeto;
  3. Descrição detalhada das medidas necessárias;
  4. Cronograma de trabalho estipulado.

 

Comitê de usuários

Cabe ao comitê de usuários fazer a avaliação contínua dos registros de uso do equipamento e fazer sugestões ao comitê gestor. O comitê de usuários deste EMU é composto pelo Prof. Dr. Everton Bonturim, da Universidade Presbiteriana Mackenzie (everton.bonturim@mackenzie.br), e pelo Prof. Dr. Gustavo Silva Wiederhecker da Universidade Estadual de Campinas (gsw@unicamp.br).

Manutenção e assistência aos usuários

O apoio técnico e a assistência aos usuários serão dadas por um técnico de nível superior, disponibilizado pelo MackGraphe (atualmente, o Sr. Luiz Henrique Silveira: luizhenrique.silveira@mackenzie.br), e por usuários experientes treinados (superusuários).

Compete ao técnico e ao comitê gestor administrar o uso do equipamento e zelar pelo bom uso e manutenção. Compete ao técnico e aos superusuários ensinar os usuários a operá-lo, detectar falhas e problemas técnicos e manter o funcionamento e organização do laboratório.

Equipamento evaporadora tipo e-beam (Electron Beam)

Descrição

Este equipamento multi-usuário (EMU) está localizado na Sala Limpa do MackGraphe, 2º subsolo do prédio sede. Ele está associado ao Projeto SPEC 2012/50259-8 concedido pela FAPESP.

O EMU consiste em um sistema de deposição de filmes finos metálicos por feixe de elétrons localizados (modelo MB PROVAP 3S base system), fabricado pela empresa MBraun. O equipamento pode ser utilizado para a deposição de filmes finos metálicos.

Comitê gestor

O Comitê gestor será inicialmente composto pela Profª. Cecília de Carvalho Castro e Silva e pelo Prof. Dunieskys Gonzalez ligados ao MackGraphe. Eventuais alterações no comitê serão informadas à FAPESP e divulgadas na página da internet do MackGraphe. O comitê gestor definirá e revisará periodicamente as regras e procedimentos para utilização do instrumento do projeto EMU. Além do gerenciamento do uso do equipamento, o comitê gestor será responsável pela alocação de tempo necessário à manutenção preventiva do equipamento e tempo dedicado à calibração e manutenção da qualidade dos dados.

Uso do equipamento

A utilização do equipamento deverá ser solicidata pelos interessados através do envio de propostas de trabalho. As propostas serão avaliadas pelo comitê gestor quanto à sua viabilidade e segurança, e uma entrevista com o proponente poderá ser agendada, para que este preste esclarecimentos. O comitê decidirá sobre a realização das medidas de acordo com a viabilidade, segurança e disponibilidade de tempo do equipamento.

Elaboração de prospostas

As propostas de trabalho devem ser enviadas em no máximo três folhas redigidas em papel A4 contendo as seguintes informações:

  1. Nome, email e telefone de contato das pessoas interessadas/envolvidas na realização das medidas;
  2. Objetivos e estado da arte do projeto;
  3. Descrição detalhada do tipo de substratos que serão empregados e espessura dos filmes que se pretendem depositar;
  4. Cronograma de trabalho estipulado.

 

Comitê de usuários

Cabe ao comitê de usuários fazer avaliação contínua dos registros de uso do equipamento e fazer sugestões ao comitê gestor. O comitê de usuários deste EMU é composto pelo Prof. Dr. José Pucci Caly, da Universidade Presbiteriana Mackenzie (jose.caly@mackenzie.br) e pelo pesquisador Ms. Angelo Luiz Gobbi do Laboratório Nacional de Nanotecnologia do CNPEM, Campinas (angelo.gobbi@lnnano.cnpem.br).

Manutenção e assistência aos usuários

O apoio técnico e assistência aos usuários serão feitas por um técnico de nível superior, disponibilizado pelo MackGraphe (atualmente, Elaine von Zuben: elaine.zuben@mackenzie.br), e por usurários experientes treinados (superusuários).

Compete ao técnico e ao comitê gestor administrar o uso do equipamento e zelar pelo bom uso e manutenção. Compete ao técnico e aos superusuários ensinar aos usuários a operá-lo, detectar falhas e problemas técnicos e manter o funcionamento e organização do laboratório.

Equipamento de Corrosão por Íons Reativos (Reactive Ion Etcher - RIE)

Descrição

Este equipamento multi-usuários (EMU) está localizado na Sala Limpa do MackGraphe, 2º subsolo do seu prédio sede. Ele está associado ao Projeto SPEC 2012/50259-8 concedido pela FAPESP.

O EMU consiste em um sistema de corrosão por um plasma de íons reativos (modelo PlasmaPro 80), fabricado pela empresa Oxford Instruments. O equipamento pode ser utilizado para a corrosão anisotrópica de diversos materiais, tais como silício, óxido de silício e nitreto de silício.

Comitê gestor

O comitê gestor será inicialmente composto pelo Prof. Christiano J. S. de Matos e Prof. Rafael E. P. de Oliveira, ligados ao MackGraphe. Eventuais alterações no comitê serão informadas à FAPESP e divulgadas na página da internet do MackGraphe. O comitê gestor definirá e revisará periodicamente as regras e procedimentos para utilização do instrumento do projeto EMU. Além do gerenciamento do uso do equipamento, o comitê gestor será responsável pela alocação de tempo necessário à manutenção preventiva do equipamento e tempo dedicado à calibração e manutenção da qualidade dos dados.

Uso do equipamento

A utilização do equipamento deverá ser solicitada pelos interessados através do envido de propostas de trabalho. As propostas serão avaliadas pelo comitê gestor quanto à sua viabilidade e segurança, e uma entrevista com o proponente poderá ser agendada, para que este preste esclarecimentos. O comitê decidirá sobre a realização das medidas de acordo com a viabilidade, segurança e disponibilidade de tempo do equipamento.

Elaboração de propostas

As propostas de trabalho devem ser enviadas em no máximo três folhas redigidas em papel A4 contendo as seguintes informações:

  1. Nome, email e telefone de contato das pessoas interessadas/envolvidas na realização das medidas;
  2. Objetivos e estado da arte do projeto;
  3. Descrição detalhada das medidas necessárias;
  4. Cronograma de trabalho estipulado.

 

Comitê de usuários

Cabe ao comitê de usuários fazer avaliação contínua dos registros de uso do equipamento e fazer sugestões ao comitê gestor. O comitê de usuários deste EMU é composto pelo Prof. Dr. Marcos Massi, da Universidade Presbiteriana Mackenzie (marcos.massi@mackenzie.br) e pelo Prof. Dr. Marcelo Antônio Pavanello (pavanello@fei.edu.br).

Manutenção e assistência aos usuários

O apoio técnico e a assistência aos usuários serão feitas por um técnico de nível superior, disponibilizado pelo MackGraphe (atualmente, o Sr. Luiz Henrique Silveira: luizhenrique.silveira@mackenzie.br), e por usuários experientes treinados (superusuários).

Compete ao técnico e ao comitê gestor administrar o uso do equipamento e zelar pelo bom uso e manutenção. Compete ao técnico e aos superusuários ensinar a operá-lo, detectar falhas e problemas técnicos e manter o funcionamento e organização do laboratório.